Thiết bị đóng vai trò quan trọng trong nghiên cứu khoa học và sản xuất thuộc nhiều lĩnh vực như công nghiệp bán dẫn, vi mạch tích hợp, vật liệu đặc biệt, công nghiệp hóa chất, dược phẩm, bảo vệ môi trường và công nghệ chân không.
Các ứng dụng tiêu biểu bao gồm: thiết bị xử lý điện tử sử dụng trong các quy trình khuếch tán, epitaxy (phát triển lớp tinh thể), lắng đọng hơi hóa học (CVD), oxy hóa, ăn mòn plasma, phún xạ và cấy ion; thiết bị phủ, nấu chảy sợi quang, thiết bị vi phản ứng, hệ thống phân phối hỗn hợp khí, thiết bị đo mao quản, máy sắc ký khí và các thiết bị phân tích khác.
